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本发明公开了一种在一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置，该工艺方法包括以下步骤：通过机械手将至少两个石墨舟单元放到推舟上；推舟承载石墨舟并将其送入反应炉；反应炉密封并加热；反应炉上的至少两个独立电极单元对各自匹配的石墨舟单元进...
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