下载基板的制造方法、基板端面的加工装置、基板端面的加工方法和磨削用磨石的技术资料

文档序号:22557521

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本发明提供基板的制造方法、基板端面的加工装置、基板端面的加工方法和磨削用磨石,该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面,能够进行稳定的磨削加工。本发明中,使磨削液与圆板状基板的端面部分接触,使磨石与其外周侧端面接触并相对移动,对基板端面进行磨...
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