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上海矽安光电科技有限公司
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二维光纤阵列制造技术
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文档序号:22551934
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本实用新型公开了一种二维光纤阵列中:包括相向设置的第一硅片和第二硅片;第一硅片上设有第一光纤贯穿孔,第一光纤贯穿孔由圆孔和倒金字塔孔构成;圆孔一端导通至第一硅片背向第二硅片一侧表面、另一端与倒金字塔孔的小孔端连接;倒金字塔孔的大孔端导通至第...
该专利属于上海矽安光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海矽安光电科技有限公司授权不得商用。
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