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位置检测装置及位置检测方法制造方法及图纸
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文档序号:22535983
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具有角部的基板支承于支承部上。摄像装置对视场角内的基板的一部分进行拍摄。处理部使基板或者摄像装置移动,以使摄像装置的视场角内所包含的基板的夹角部的两个边的长度成为规定值以上。基于移动之后拍摄摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测基板的角...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。
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