位置检测装置及位置检测方法制造方法及图纸

具有角部的基板支承于支承部上。摄像装置对视场角内的基板的一部分进行拍摄。处理部使基板或者摄像装置移动，以使摄像装置的视场角内所包含的基板的夹角部的两个边的长度成为规定值以上。基于移动之后拍摄摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测基板的角部的位置。通过采用该结构，可以基于基板的角部的图像数据进行更加稳定的位置检测。

Position detection device and method

The base plate with the corner part is supported on the support part. The camera device takes pictures of a part of the base plate in the field angle. The processing unit moves the base plate or the imaging device so that the length of two sides of the included angle part of the base plate included in the field angle of the imaging device becomes more than a specified value. The position of the corner part of the base plate is detected based on the image data acquired in the field of view of the camera after moving. By using this structure, the position detection can be more stable based on the image data of the corner of the substrate.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】位置检测装置及位置检测方法
本专利技术涉及一种位置检测装置及位置检测方法。
技术介绍
已知有如下技术：在对基板进行绘图或加工时，使用形成于基板上的对准标记对基板进行定位。在下述专利文献1中公开了网板印刷技术，该丝网印刷技术基于拍摄基板的角部附近而得到的图像数据来进行基板的定位。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-205286号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术的目的在于，提供一种基于基板角部的图像数据能够进行更加稳定的位置检测的位置检测装置。用于解决技术课题的手段根据本专利技术的一种观点，提供一种位置检测装置，其具有：支承部，其支承具有角部的基板；摄像装置，其对视场角内的所述基板的一部分进行拍摄；及处理部，所述处理部使所述基板或者所述摄像装置移动，以使所述摄像装置的视场角内所包含的所述基板的夹所述角部的两个边的长度等于规定值或者比所述规定值长，并且基于移动之后拍摄所述摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测所述基板的所述角部的位置。根据本专利技术的另一观点，提供一种位置检测装置，其具有：支承部，其支承具有角部的基板；摄像装置，其对所述基板的一部分进行拍摄；处理部；及显示部，其显示图像，所述处理部将所述摄像装置的视场角内的所述基板的所述角部的图像显示于所述显示部，并且使所述基板或者所述摄像装置移动，以使所述摄像装置的视场角内所包含的所述基板的夹所述角部的两个边的长度等于规定值或者比所述规定值长，并将移动之后的所述摄像装置的视场角内的所述角部的图像显示于所述显示部，并且求出所述摄像装置的视场角内的所述基板的图像的所述角部的位置的坐标，并将用于确定所求出的坐标的信息显示于所述显示部。根据本专利技术的又一观点，提供一种位置检测方法，其具有如下工序：对具有角部的基板的第1角部进行拍摄而获取第1图像数据的工序；对夹所述第1角部的两个边中包含于所述第1图像数据中的部分的长度与规定值进行比较，若夹所述第1角部的两个边中包含于所述第1图像数据中的部分的长度并非所述规定值以上，则使拍摄区域移动以使包含于所述第1图像数据中的部分的长度成为所述规定值以上，之后对所述基板进行拍摄，从而获取第2图像数据的工序；及基于所述第2图像数据，求出所述基板的所述第1角部的位置的工序。专利技术效果在使摄像装置的视场角内所包含的基板的夹角部的两个边的长度成为规定值以上之后对角部的位置进行检测，因而能够进行稳定的位置检测。附图说明图1是基于实施例的位置检测装置的概略立体图。图2是基于实施例的位置检测装置的处理部所执行的位置检测处理的流程图。图3A是作为位置检测对象物的基板的平面图，图3B是将位置检测处理中所执行的图案匹配中所使用的模板作为图像而表示的图，图3C是将位置检测处理中处理部所使用的图像数据作为图像而表示的图。图4A及图4B是将位置检测处理中处理部所使用的图像数据作为图像而表示的图。图5A是将基板角部的切除部分的形状及尺寸符合规格时的角部的图像数据作为图像而表示的图，图5B是将基板角部的切除部分的尺寸小于规格时的角部的图像数据作为图像而表示的图，图5C是将基板角部的切除部分的形状偏离规格时的角部的图像数据作为图像而表示的图，图5D是将基板在面内旋转方向上的姿势从目标姿势稍微倾斜时的角部的图像数据作为图像而表示的图。图6是基于另一实施例的位置检测装置的处理部所执行的位置检测处理的流程图。图7A是又一实施例中成为位置检测对象的基板的平面图，图7B是将图2的步骤S03及S07中所执行的图案匹配中所使用的模板作为图像而表示的图。图8是基于又一实施例的位置检测装置所执行的位置检测处理的流程图。图9A是表示执行图8的步骤S11的时的视场角与基板之间的位置关系的平面图，图9B是表示执行步骤S13之后的视场角与基板之间的位置关系的平面图。图10是基于又一实施例的位置检测装置所执行的位置检测处理的流程图。图11A是使用基于又一实施例的位置检测装置检测位置时成为对象的基板的平面图，图11B是将位置检测时的图案匹配中所使用的模板作为图像而表示的图。图12A及图12B是基于又一实施例的位置检测装置的概略立体图。图13是基于又一实施例的成膜装置的概略主视图。具体实施方式下面，参考图1～图5D，对基于实施例的位置检测装置进行说明。图1是基于实施例的位置检测装置的概略立体图。基于本实施例的位置检测装置包括支承部10、摄像装置11A、摄像装置11B、处理部12、存储部13及显示部14。作为处理对象的基板50支承于支承部10的上表面(支承面)。作为支承部10，例如可以使用可动工作台，该可动工作台能够使基板50在面内的二维方向移动并使其在面内方向上旋转。基板50例如具有正方形、长方形等具有多个角部的平面形状。摄像装置11A拍摄支承部10的支承面上的视场角(视野)15A内的区域，从而获取图像数据。摄像装置11B拍摄支承部10的支承面上的视场角(视野)15B内的区域进行拍摄，从而获取图像数据。调整两个摄像装置11A、11B的位置以便在基板50的一个角部51配置于视场角15A内时经由一个边与该角部51相邻的另一个角部51配置于视场角15B内。处理部12执行存储于存储部13中的处理程序，从而实现位置检测的功能。在存储部13中，除了存储有处理程序之外，还存储有执行位置检测处理时所参考的各种数据、由摄像装置11A、11B获取到的图像数据、处理部12的处理结果(即，坐标数据)等。处理部12将处理结果输出给显示部14。作为处理部12，例如可以使用中央处理单元(CPU)。作为存储部13，例如可以使用RAM、ROM、外部存储装置等。作为显示部14，例如可以使用液晶显示器、有机EL显示器等。图2是处理部12(图1)所执行的位置检测处理的流程图。在以下说明的位置检测处理中，检测基板50的一个角部51的位置。对于另一个角部51的位置，也可以通过相同处理进行检测。图3A是作为位置检测对象物的基板50的平面图。基板50具有大致长方形或者正方形的平面形状，其四个角部51被斜切。例如，被斜切的部分的平面形状是底角为45度的直角等腰三角形。图3B是将位置检测处理中所执行的图案匹配中所使用的模板20A、20B、20C作为图像而表示的图。模板20A对应于角部51的斜边的图像。模板20B对应于角部51的斜边和横向延伸的边相交的部分的图像。模板20C对应于角部51的斜边和纵向延伸的边相交的部分的图像。模板20A、20B、20C是基于基板50的外形形状的规格而制作出的。图3C、图4A及图4B是将位置检测处理中处理部12所使用的图像数据作为图像而表示的图。在图3C、图4A及图4B中，在基板50的内侧区域标注了阴影线。如图2所示，在进行基板50的位置检测之前，首先将基板50支承于支承部10的支承面上(步骤S01)。该处理例如通过由处理部12控制机械手臂等输送装置来进行。在将基板50支承于支承部10上的时刻，进行粗略定位以使基板50的相邻的两个角部51(图1)或者其附近分别落入两个视场角15A、15B(图1)内。处理部12使基板50的角部51进入视场角15A内(步骤S02)。以下，对使基板50的角部51进入视场角15A内的处理进行说明。首先，在完成基板50的粗略定位的状态下，对角部51的估计位置(视场角1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，其支承具有角部的基板；摄像装置，其对视场角内的所述基板的一部分进行拍摄；及处理部，所述处理部使所述基板或者所述摄像装置移动，以使所述摄像装置的视场角内所包含的所述基板的夹所述角部的两个边的长度等于规定值或者比所述规定值长，并且基于移动之后拍摄所述摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测所述基板的所述角部的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.22 JP 2017-0556851.一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，其支承具有角部的基板；摄像装置，其对视场角内的所述基板的一部分进行拍摄；及处理部，所述处理部使所述基板或者所述摄像装置移动，以使所述摄像装置的视场角内所包含的所述基板的夹所述角部的两个边的长度等于规定值或者比所述规定值长，并且基于移动之后拍摄所述摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测所述基板的所述角部的位置。2.一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，其支承具有角部的基板；摄像装置，其对所述基板的一部分进行拍摄；处理部；及显示部，其显示图像，所述处理部将所述摄像装置的视场角内的所述基板的所述角部的图像显示于所述显示部，并且使所述基板或者所述摄像装置移动，以使所述摄像装置的视场角内所包含的所述基板的夹所述角部的两个边的长度等于规定值或者比所述规定值长，并将移动之后的所述摄像装置的视场角内的所述角部的图像显示于所述显示部，并且求出所述摄像装置的视场角内的所述基板的图像的所述角部的位置的坐标，并将用于确定所求出的坐标的信息显示于所述显示部。3.一种位置检测方法，其特征在于，具有如下工序：对具有角部的基板的第1角部进行拍摄而获取第1图像数据的工序；对夹所述第1角部的两个边中包含于所述第1图像数据中的部分的长度与规定值进行比较，若夹所述第1角部的两个边中包含于所述第1图像数据中的部分的长度并非所述规定值以上，则使拍摄区域移动以使包含于所述第1图像数据中的部分的长度成为所述规定值以上，之后对所述基板进行拍摄，从而获取第2图像数据的工序；及基于所述第2图像数据，求出所述基板的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本裕司，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP