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本发明公开了一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置与方法，包括隔振机构本体部分、检测部分及控制部分；所述隔振机构本体部分包括气浮隔振平台，所述气浮隔振平台设置载物平台，所述载物平台与隔振机构连接，所述隔振机构包括X方向隔振机构及Y方向隔振机...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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