下载一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置的技术资料

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本实用新型涉及一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置。它包括有水平设置的基座,基座上设有根移动梁,每根移动梁的一端连接有一个压电陶瓷体,各压电陶瓷体的伸缩轴为水平设置,压电陶瓷体与基座为固定连接,所述的每根移动梁上均固定有一根竖直设...
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