The utility model relates to a probe detection head and a probe detection device with continuously adjustable probe spacing. The utility model comprises a base which is horizontally arranged, a moving beam is arranged on the base, one end of each moving beam is connected with a piezoelectric ceramic body, the expansion axis of each piezoelectric ceramic body is horizontally arranged, the piezoelectric ceramic body is fixedly connected with the base, each moving beam is fixedly arranged with a vertically arranged probe, the base is fixedly arranged with a fixed probe, and the fixed probe is fixedly arranged with three probes The probe heads of the needle are all on the same horizontal plane. Each piezoelectric ceramic body is connected with a circuit. By controlling the voltage applied to each piezoelectric ceramic body, the tiny length change of the piezoelectric ceramic body can be controlled. The length change of piezoelectric ceramic body can synchronously drive the moving beam and the probe on it to move, so that the spacing between the three probes and the fixed probe can be changed continuously.
【技术实现步骤摘要】
一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置
本技术及一种探针检测装置,尤其是涉及一种探针间距连续可调的探针检测头及探针检测装置。
技术介绍
电学四探针技术在材料科学领域有非常广阔的应用,即四根导电探针,其中两根通电流,与待测样品共同形成回路,另外两根探针测量材料表面的电势,并计算出材料的表面电输运特性。传统的四探针,其探针相对位置都是固定的,四根探针在水平面可以共线,也可以不共线。其中,由电学四探针技术衍生出来的电流共面隧穿技术是专门针对基于磁阻的随机存储器的重要电学参数磁隧穿结电阻的测量手段。该技术原理大致为:4根探针和基于磁阻的随机存储器的最上层导电层形成有效电接触,该随机存储器的结构分为上层导电层(电阻为RT)、隧穿层(RAS)和下层导电层(RB),随机给两根探针通电,另外两根探针测量电压。当探针间距很小时,电流=部分电流就可能经由隧穿层,通过下层导电层,形成额外的电流回路。当改变通电探针间距,就可以改变上层导电层的水平电阻RT,和下层导电层的水平电阻RB,而隧穿层的垂直电阻RAS阻数值是不随电探针间距改变的,通过改变通电探针间距,多次测量探针之间的串并联电阻,解联立方程组就可以求解基于磁阻的随机存储器的重要电学参数磁隧穿结电阻RAS(方程组为)。为实现这一测量原理,现有欧洲专利(专利号为:EP2293086A1),其特点是,制备一排共线导电探针(数量在10根以上),通过任意选取其中的4根探针,借以改变通电探针间距的方式,来实现电流共面隧穿方法。该专利的探针数量是有限的,而且组合产生的探针间距数值是不连续的。因为电学参数磁隧穿结电阻是非直接测量, ...
【技术保护点】
1.一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:包括有水平设置的基座(1),基座(1)上设有3根移动梁(21、22、23),每根移动梁的一端连接有一个压电陶瓷体(3),各压电陶瓷体(3)的伸缩轴为水平设置,压电陶瓷体(3)与基座(1)为固定连接,所述的每根移动梁上均固定有一根竖直设置的探针(4),基座(1)上还固定有一根固定探针(41),固定探针(41)与三根探针(4)的探测头均在同一水平面上。
【技术特征摘要】
1.一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:包括有水平设置的基座(1),基座(1)上设有3根移动梁(21、22、23),每根移动梁的一端连接有一个压电陶瓷体(3),各压电陶瓷体(3)的伸缩轴为水平设置,压电陶瓷体(3)与基座(1)为固定连接,所述的每根移动梁上均固定有一根竖直设置的探针(4),基座(1)上还固定有一根固定探针(41),固定探针(41)与三根探针(4)的探测头均在同一水平面上。2.根据权利要求1所述的探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:各移动梁(21、22、23)的轴向均为水平设置,且相互平行贴合。3.根据权利要求2所述的探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:每根移动梁的两端都设有一个压电陶瓷体(3),各压电陶瓷体(3)的规格一致。4.根据权利要求3所述的探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:每根移动梁的各个端部与最接近的压电陶瓷体(3)之间固接有连接杆(31、32、33、34、35、36)。5.一种探针检测装置,包括有底座(5)、水平设置的...
【专利技术属性】
技术研发人员:连程杰,朱干军,张家尧,
申请(专利权)人:义乌臻格科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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