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一种单晶硅棒装夹装置制造方法及图纸
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下载一种单晶硅棒装夹装置的技术资料
文档序号:22480370
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本实用新型公开了一种单晶硅棒装夹装置,包括滚轮支撑机构、第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构;滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座,第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上;第一定位及取片机构包括真空吸盘,真空吸盘位于滚轮支撑机构上方;...
该专利属于福州天瑞线锯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福州天瑞线锯科技有限公司授权不得商用。
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