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本发明揭示用于线上部分平均测试及潜在可靠性缺陷辨识或检测的方法及系统。一种线上部分平均测试方法可包含：在晶片制作期间在多个关键步骤处对多个晶片执行线上检验及计量；利用一或多个处理器聚合从线上检验及计量获得的检验结果以针对所述多个晶片获得多个...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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