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本发明提供一种手段，其可良好地减少利用包含氧化铈的研磨用组合物研磨后得到的研磨完成的研磨对象物中的氧化铈残渣，并可以充分地抑制有机物残渣。本发明涉及一种表面处理组合物，其用于对利用包含氧化铈的研磨用组合物研磨后得到的研磨完成的研磨对象物进行...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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