下载压力传感器的技术资料

文档序号:22472272

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本发明的目的在于提供不管ESD保护电路的有无,都能够不使用大量的粘接剂而稳定地维持高的静电击穿电压的压力传感器。本发明的压力传感器(100)的特征在于,具备:液封于液封室(124A)且检测导入至压力室(112A)的流体的压力的半导体传感器芯...
该专利属于株式会社鹭宫制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社鹭宫制作所授权不得商用。

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