下载激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件制造方法的技术资料

文档序号:22472032

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根据一种实施方式的激光照射装置(1)包括:用于生成激光的激光生成装置(14);用于浮起待施加激光的处理对象(16)的浮起单元(10);以及用于传送已浮起的所述处理对象(16)的传送单元(11)。所述传送单元(11)包括:通过吸附所述处理对象...
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