下载模头装置、涂布方法及层叠体形成装置的技术资料

文档序号:22472020

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本发明提供不使用杂质除去用的专用装置,就可形成没有杂质故障且均匀厚度的涂膜的模头装置及涂布方法、及可形成所述涂膜的层叠体的层叠体形成装置。本发明的模头装置具有前方刀片(130A)、后方刀片(160A)、中央刀片(140A)、内部杂质除去空间...
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