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一种集成气阀,其中,通过致动器使阀体相对阀座抵接·离开,并进行阀孔和阀室的连通·遮断的开闭阀,具有在途中与阀孔分叉地贯通阀主体而形成的第1流路、以及从入口连通阀室并形成在阀主体上的第2流路,其特征在于,通过将多个这种开闭阀连设成一列,构成所...该专利属于喜开理株式会社、索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过喜开理株式会社、索尼株式会社授权不得商用。
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一种集成气阀,其中,通过致动器使阀体相对阀座抵接·离开,并进行阀孔和阀室的连通·遮断的开闭阀,具有在途中与阀孔分叉地贯通阀主体而形成的第1流路、以及从入口连通阀室并形成在阀主体上的第2流路,其特征在于,通过将多个这种开闭阀连设成一列,构成所...