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本发明公开了一种高选择性剥离液、其制备方法和应用。所述的剥离液，其原料包括下列质量分数的组分：0‑30.00％的水、5.00‑20.00％的直链酰胺类有机溶剂、10.00‑30.00％的砜类和/或亚砜类有机溶剂、21.00‑79.00％的醇...该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高选择性剥离液、其制备方法和应用。所述的剥离液，其原料包括下列质量分数的组分：0‑30.00％的水、5.00‑20.00％的直链酰胺类有机溶剂、10.00‑30.00％的砜类和/或亚砜类有机溶剂、21.00‑79.00％的醇...