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本发明提供了一种喷洒装置、显影系统和显影方法，喷洒装置包括：喷刀、喷刀控制单元，所述喷刀用于喷洒液体，所述喷刀包括第一刀片和第二刀片，所述第一刀片的刀口和所述第二刀片的刀口相对以形成所述喷刀的出口，所述第一刀片的刀口能够相对所述第二刀片的刀...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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