下载保持装置以及光学装置的技术资料

文档序号:22466491

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本发明提供保持装置以及光学装置,即便在重力方向膨胀量相对水平方向膨胀量极小时,在相对温度变化的保持对象物定位精度方面也有利。保持装置具有结构体、保持部件、基座部件及支承部件,结构体包围物体,保持部件保持物体,基座部件设在结构体内壁,支承部件...
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