下载光偏转机以及光偏转机控制装置的技术资料

文档序号:22466418

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本发明提供光偏转机以及光偏转机控制装置。本发明的目的在于,提供能通过抑制由扭转振动模式引起的反射镜的反射面的凹凸来抑制在该反射面反射的图像的失真的光偏转机。为了解决上述课题,本发明的光偏转机使光束偏转,具备:反射所述光束的反射镜;抓持该反射...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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