光偏转机以及光偏转机控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供光偏转机以及光偏转机控制装置。本发明专利技术的目的在于，提供能通过抑制由扭转振动模式引起的反射镜的反射面的凹凸来抑制在该反射面反射的图像的失真的光偏转机。为了解决上述课题，本发明专利技术的光偏转机使光束偏转，具备：反射所述光束的反射镜；抓持该反射镜的一端的第一抓持部；使与该第一抓持部连结的第一旋转轴旋转的第一驱动部；抓持该反射镜的另一端的第二抓持部；和使与该第二抓持部连结的第二旋转轴旋转的第二驱动部。

Optical deflector and its control device

【技术实现步骤摘要】
光偏转机以及光偏转机控制装置
本专利技术涉及使光束偏转的光偏转机以及控制光偏转机的光偏转机控制装置。
技术介绍
作为使光束偏转的光偏转机，已知电流式(galvano)光偏转机。图7是现有的可动磁铁型的电流式光偏转机100的横截图。该电流式光偏转机100由如下要素构成：使光束偏转的反射镜2；抓持反射镜2的一端的抓持部3；将一端与抓持部3连结的旋转轴4；设于旋转轴4的外周的永磁铁5；支承旋转轴4的两端的一对轴承6；设于永磁铁5的外周的大致圆筒状的磁轭7；设于磁轭7的内周的线圈8；设于旋转轴4的另一端侧的角度检测器9；和覆盖它们的筐体12。另外，角度检测器9由安装在旋转轴4的另一端的大致圆盘状的标度盘(scale)10和读取标度盘10上的狭缝的光学拾取器11构成。在如此构成的电流式光偏转机100中，与旋转轴4的旋转联动地，反射镜2和标度盘10旋转相同的旋转角度θ，该旋转力产生源是由旋转轴4和永磁铁5所构成的转子、以及磁轭7和线圈8所构成的定子构成的摇动型电磁致动器。并且，若从未图示的驱动放大器对线圈8施加给定的电压，则通过流到线圈8的给定的电流和永磁铁5的磁场而产生电磁力，旋转轴4旋转给定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光偏转机，使光束偏转，其特征在于，具备：反射所述光束的反射镜；抓持该反射镜的一端的第一抓持部；使与该第一抓持部连结的第一旋转轴旋转的第一驱动部；抓持该反射镜的另一端的第二抓持部；和使与该第二抓持部连结的第二旋转轴旋转的第二驱动部。

【技术特征摘要】
2018.04.26 JP 2018-0850661.一种光偏转机，使光束偏转，其特征在于，具备：反射所述光束的反射镜；抓持该反射镜的一端的第一抓持部；使与该第一抓持部连结的第一旋转轴旋转的第一驱动部；抓持该反射镜的另一端的第二抓持部；和使与该第二抓持部连结的第二旋转轴旋转的第二驱动部。2.根据权利要求1所述的光偏转机，其特征在于，所述第一驱动部具备设于所述第一旋转轴的外周的第一永磁铁和设于该第一永磁铁的外周的第一线圈，所述第二驱动部具备设于所述第二旋转轴的外周的第二永磁铁和设于该第二永磁铁的外周的第二线圈，在将从所述反射镜的中心靠所述第一驱动部侧的惯量设为J1、将从所述反射镜的中心靠所述第二驱动部侧的惯量设为J2、将所述第一驱动部的旋转力设为F1、将所述第二驱动部的旋转力设为F2时，下述式大致成立：J1∶J2＝F1∶F2。3.根据权利要求1所述的光偏转机，其特征在于，所述第一驱动部具备设于所述第一旋转轴的外周的第一永磁铁和设于该第一永磁铁的外周的第一线圈，所述第二驱动部具备设于所述第二旋转轴的外周的第二永磁铁和设于该第二永磁铁的外周的第二线圈，在将从所述反射镜的中心靠所述第一驱动部侧的惯量设为J1、将从所述反射镜的中心靠所述第二驱动部侧的惯量设为J2、将所述第一驱动部的转矩常数设为T1、将所述第二驱动部的转矩常数设为T2时，下述式大致成立：J1∶J2＝T1∶T...

【专利技术属性】
技术研发人员：松家大介，土居昭，德山干夫，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP