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本发明公开了一种集成电路板生产用电镀硅片清洗干燥装置，包括电镀硅片，所述清洗干燥装置包括清洗槽、容纳槽和若干个夹持装置，所述容纳槽内设置有隔板，所述隔板将容纳槽内的空间分割为上腔、下腔，所述隔板上设置有若干个振动件，所述上腔内含有传递水，所...
该专利属于盐城华旭光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城华旭光电技术有限公司授权不得商用。

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