下载基板切割装置的技术资料

文档序号:22452024

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本实用新型实施例中的一种基板切割装置,包括:划片单元,包括划片头,其具有在基板上形成划线的划片轮;以及将基板移送至划片单元的移送单元。划片头包括:具有划片轮的划片模块,使划片模块向着垂直方向移动的垂直移动模块,以及测量划片模块的垂直振动的垂...
该专利属于塔工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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