下载基板加工装置的技术资料

文档序号:22452022

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本实用新型实施例中的基板加工装置,其包括:划线单元,其用于形成第一划线及第二划线,所述第一划线沿着基板的有效部分及虚设部分之间的界线延伸形成,所述第二划线在所述虚设部分从所述基板的中心以放射状延伸形成;以及裂片单元,其分别加压被所述第二划线...
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