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一种抑制电压回折现象的RC-LIGBT器件制造技术
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文档序号:22445738
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本发明属于功率半导体技术领域,涉及高压横向半导体器件,具体为一种抑制电压回折现象的RC‑LIGBT器件。本发明中,通过引入槽型集电极区、P型埋层区,与部分表面耐压区3共同形成RC抑制;使得在低集电极电压时,P型埋层和槽型集电极区之间的N型表...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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