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超结功率器件及其制造方法技术
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文档序号:22445733
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本公开涉及一种超结功率器件,包括:第一导电类型的衬底层;第一导电类型的外延层,设置于所述衬底层上;第二导电类型的多个第一体区和多个第二体区,所述多个第一体区和所述多个第二体区周期排列设置在所述外延层中,所述第一体区为柱状体区;多个分段栅,周...
该专利属于上海昱率科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海昱率科技有限公司授权不得商用。
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