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本发明公开了一种支撑调整装置,包括:具有用以安装反射镜的腔室的镜框,且所述腔室的内部具有垫圈槽;设于所述垫圈槽、用以紧密贴合反射镜的前垫圈和后垫圈,所述前垫圈和所述后垫圈分别位于所述反射镜在厚度方向上的两侧;用以将所述前垫圈贴合于反射镜的镜...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种支撑调整装置,包括:具有用以安装反射镜的腔室的镜框,且所述腔室的内部具有垫圈槽;设于所述垫圈槽、用以紧密贴合反射镜的前垫圈和后垫圈,所述前垫圈和所述后垫圈分别位于所述反射镜在厚度方向上的两侧;用以将所述前垫圈贴合于反射镜的镜...