下载光学检测系统及方法的技术资料

文档序号:22385977

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本发明涉及光学技术领域,公开一种光学检测系统及方法,以快速完成物体表面的缺陷检测。本发明系统包括:多光谱光源;位于所述多光谱光源与待测物体之间的偏转装置,用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光束分别偏转到与波长大小相对应的方向上,并将偏...
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