下载连续均匀镀膜的调节方法的技术资料

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一种连续均匀镀膜的调节方法,通过光度计、椭偏仪或台阶仪测试当前玻璃上各位置的膜层厚度,进而掌握膜厚变化规律;在旋转阴极的A管与CM3腔室边缘处,加装光电感应器;光电感应器与控制器电连接,控制器与旋转阴极电连接;当KJ1到达光电感应器的位置时...
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