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本发明公开了一种MEMS加速度传感器件的开封方法，包括：(1)将待二次开封的MEMS加速度传感器件加热使粘合剂失效，自然冷却；(2)将传感器件放在涂胶的第一金属片上，使其底部的凸台与涂胶的第一金属片粘合；(3)加热使胶完全固化，自然冷却；(...
该专利属于航天科工防御技术研究试验中心所有，仅供学习研究参考，未经过航天科工防御技术研究试验中心授权不得商用。

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