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本实用新型涉及一种线性微电机，该线性微电机包括：基底，所述基底上设置有滑轨，所述滑轨具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面与所述基底贴合，所述第二表面是具有原子级光滑且平整的表面；动子，所述动子设置在所述滑轨上，所述动子与所述滑轨配合的...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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