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本实用新型旨在提供一种衬底的对位孔的定位装置，能够实现对位孔的高精度定位，从而确保光刻工艺中衬底表面上印刷的构图的位置准确度高，使得对位孔能够实现对衬底表面上印刷的构图的高精度定位，包括定位机构，定位机构包括顺序设置的光源、准直镜头、光栅，...
该专利属于苏州源卓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州源卓光电科技有限公司授权不得商用。

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