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一种涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法，其中，涂布机包括：喷头壳体，连接所述喷头壳体的第一阀门和第二阀门，所述喷头壳体、第一阀门和第二阀门围成气压腔，所述第一阀门和第二阀门之间具有涂覆缝，所述涂覆缝与所述气压腔相互贯通；位于所述喷头壳体气压...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。