涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法技术

技术编号:22363346 阅读:14 留言:0更新日期:2019-10-23 04:26
一种涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法,其中,涂布机包括:喷头壳体,连接所述喷头壳体的第一阀门和第二阀门,所述喷头壳体、第一阀门和第二阀门围成气压腔,所述第一阀门和第二阀门之间具有涂覆缝,所述涂覆缝与所述气压腔相互贯通;位于所述喷头壳体气压腔中的喷嘴,喷嘴中具有喷孔,所述喷孔贯穿所述喷嘴,且所述喷孔与所述气压腔相互贯通。所述涂布机能够对特定区域进行涂布。

Coater, coating method and mask forming method

【技术实现步骤摘要】
涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法
本专利技术涉及半导体制造
,尤其涉及一种涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法。
技术介绍
光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。光刻工艺在半导体技术中具有重要应用。光刻工艺的方法包括:采用旋涂工艺在晶圆上形成光刻胶层;对该光刻胶层进行热处理后置于曝光设备中,通过对所述光刻胶层进行曝光,将掩模板上的图案转移到光刻胶层中;接着对曝光后的光刻胶层进行曝光后热处理,并通过显影工艺进行显影,在光刻胶层中形成光刻图案。掩膜板上具有图形,掩膜板上的图形决定转移到光刻胶层中的图形,因此掩膜板在光刻工艺中起重要作用。然而,现有技术的掩膜板的形成方法较复杂,且形成的掩膜板的性能较差。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法,能够简化掩膜板的形成工艺,并改善所形成掩膜板的性能。为解决上述问题,本专利技术提供一种涂布机,包括:喷头壳体;连接所述喷头壳体的第一阀门和第二阀门,所述喷头壳体、第一阀门和第二阀门围成气压腔,所述第一阀门和第二阀门之间具有涂覆缝,所述涂覆缝与所述气压腔相互贯通;位于所述气压腔中的喷嘴,喷嘴中具有喷孔,所述喷孔贯穿所述喷嘴。可选的,所述喷嘴中喷孔的个数为多个。可选的,所述喷孔朝向所述涂覆缝,各个喷孔排列成一排,所述喷孔的排列方向平行于所述涂覆缝的长度方向;或者,所述喷孔呈阵列式排列。可选的,所述喷孔的直径为0.03mm~1mm。可选的,所述涂覆缝的宽度为0.03mm~2mm。可选的,所述第一阀门与所述喷头壳体固定连接或活动连接;所述第二阀门与所述喷头壳体固定连接或活动连接。可选的,所述喷头壳体包括顶板和连接所述顶板边缘的侧板结构,所述侧板结构和所述顶板围成的空间为长方体,所述侧板结构包括相对的第一侧板和第二侧板,所述第一侧板一端连接所述顶板边缘、另一端连接所述第一阀门,所述第二侧板一端连接所述顶板边缘、另一端连接所述第二阀门。可选的,当所述第一阀门与所述喷头壳体活动连接,所述第二阀门与所述喷头壳体活动连接时;所述涂布机还包括:位于所述第一阀门与第一侧板之间的第一弹性密封结构;位于所述第二阀门与第二侧板之间的第二弹性密封结构;贯穿所述第一阀门、第一弹性密封结构和第一侧板的第一螺栓;设置于所述第一螺栓上的第一螺母;贯穿所述第二阀门、第二弹性密封结构和第二侧板的第二螺栓;设置于所述第二螺栓上的第二螺母。可选的,所述第一阀门包括连接所述喷头壳体的第一阀门板;连接所述第一阀门板的第一阀门栅;所述第二阀门包括连接所述喷头壳体的第二阀门板,所述第二阀门板和第一阀门板呈轴对称分布;连接所述第二阀门板的第二阀门栅,所述第一阀门栅与所述第二阀门栅相对的面相互平行,且所述第一阀门栅朝向所述第二阀门栅的面平行于第二阀门板和第一阀门板的对称轴。可选的,所述第一阀门和第二阀门朝背离所述气压腔的方向凸出;所述第一阀门围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间具有锐角夹角;所述第二阀门围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间具有锐角夹角。可选的,所述第一阀门板围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间的锐角夹角为30°~50°;所述第二阀门板围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间的锐角夹角为30°~50°。可选的,还包括:位于所述气压腔中的容纳体,所述容纳体中具有容纳腔,所述喷嘴设置于所述容纳体表面,所述容纳腔通过所述喷孔与气压腔连通。可选的,还包括:连通所述气压腔的充气设备,充气设备用于向所述气压腔中通入气体;连通所述喷孔的涂布液输送设备,所述涂布液输送设备用于向所述容纳腔中通入涂布液。相应的,本专利技术技术方案还提供一种涂布方法,包括:提供基板,所述基板包括涂覆面;提供上述的涂布机;使所述涂覆缝位于所述涂覆面上;通过所述喷嘴向所述气压腔中喷射涂布液,并向所述气压腔中通入气体,使所述气体和涂布液通过所述涂覆缝向所述涂覆面喷射,并使所述涂覆缝相对于所述涂覆面平移,在涂覆面表面形成涂覆层。可选的,所述涂覆缝相对于所述涂覆面平移的方向垂直于所述涂覆缝的长度方向。本专利技术技术方案还提供一种掩膜板的形成方法,包括:提供透光板,所述透光板包括处理面,所述处理面包括:图形区和位于所述图形区两侧的外围区;在所述图形区和外围区表面形成图形化的遮光层和保护膜,所述遮光层位于所述保护膜和透光板之间;通过上述的涂布方法在所述外围区保护层表面形成第一光阻层;以所述第一光阻层为掩膜对所述保护膜进行第一刻蚀处理,去除图形区保护膜,形成保护层。可选的,所述保护膜的材料为铬;所述第一刻蚀处理的工艺包湿法刻蚀工艺;所述第一刻蚀处理的刻蚀液包括四甲基氢氧化铵。可选的,所述第一刻蚀处理的工艺包括干法刻蚀工艺;所述第一刻蚀处理之前,还包括:对所述图形区进行清洗处理。可选的,所述清洗处理的清洗剂包括四甲基氢氧化铵、双氧水或去离子水。可选的,使所述涂覆缝的长度小于在外围区和图形区的排列方向上的所述外围区的尺寸;所述喷涂覆缝相对于所述涂覆面的平移方向垂直于所述涂覆缝的长度方向;当所述第一阀门与所述喷头壳体活动连接,所述第二阀门与所述喷头壳体活动连接时,形成第一光阻层之前,还包括:通过第一阀门和第二阀门调节所述涂覆缝的宽度。与现有技术相比,本专利技术的技术方案具有以下优点:本专利技术的涂布机,所述喷涂机通过喷嘴中的喷孔向所述气压腔喷射涂布液,所述气压腔中具有气体,所述涂布液与所述气压腔中的气体混合之后,通过所述涂覆缝喷出,从而能够进行涂布。由于所述涂覆缝为第一阀门与第二阀门之间的缝隙,可以使所述第一阀门和第二阀门之间的间距较小,从而使所述涂覆缝的宽度较小,通过所述涂覆缝喷出的涂布液和气体的混合物的流量较小,从而能够使涂布厚度较小,因此使基板保持静止的情况下,所述涂布机能够使涂布厚度较小。由于所述涂覆缝喷出的涂布液和气体的混合物的流量较小,且在涂布过程中所述基板保持静止状态有利于控制涂布的范围,从而能够对特定区域进行涂布,进而能够改善所述涂布机的性能。进一步,所述喷孔的个数为多个。当喷孔喷出的涂布液的流量一定的情况下,所述喷孔的个数为多个有利于增加涂布液与气压腔中气体的接触面积,从而能够使从所述涂覆缝中喷出的涂布液的分布比较均匀,从而使涂布厚度较均匀。进一步,所述第一阀门栅与所述第二阀门栅相对的面相互平行,且所述第一阀门栅朝向所述第二阀门栅的面平行于第二阀门板和第一阀门板的对称轴,则涂布液从所述涂覆缝喷出时,所述第一阀门栅和第二阀门栅能够使涂布液喷射方向平行于所述第一阀门栅朝向所述第二阀门栅的面,从而限制涂布液的流动方向,控制涂布范围且能够使喷出的涂布液在垂直于涂布液喷射方向的截面内均匀分布。进一步,所述第一阀门和第二阀门朝背离所述气压腔的方向凸出,所述第一阀门板围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间具有锐角夹角,所述第二阀门板围成气压腔的面与所述第二侧板侧壁之间具有锐角夹角,则当涂布液从所述涂覆缝中喷出时,能够缓冲涂布液和气体对所述第一阀门板和第二阀门板沿涂布液喷射方向的冲击力,进而能够抑制所述涂布液从所述涂覆缝中喷出后向涂覆缝两侧喷射,从而有利于控制涂布的范围,且能够使喷出的涂布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布机,其特征在于,包括:喷头壳体;连接所述喷头壳体的第一阀门和第二阀门,所述喷头壳体、第一阀门和第二阀门围成气压腔,所述第一阀门和第二阀门之间具有涂覆缝,所述涂覆缝与所述气压腔相互贯通;位于所述气压腔中的喷嘴,喷嘴中具有喷孔,所述喷孔贯穿所述喷嘴。

【技术特征摘要】
1.一种涂布机,其特征在于,包括:喷头壳体;连接所述喷头壳体的第一阀门和第二阀门,所述喷头壳体、第一阀门和第二阀门围成气压腔,所述第一阀门和第二阀门之间具有涂覆缝,所述涂覆缝与所述气压腔相互贯通;位于所述气压腔中的喷嘴,喷嘴中具有喷孔,所述喷孔贯穿所述喷嘴。2.如权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述喷嘴中喷孔的个数为多个。3.如权利要求2所述的涂布机,其特征在于,所述喷孔朝向所述涂覆缝,各个喷孔排列成一排,所述喷孔的排列方向平行于所述涂覆缝的长度方向;或者,所述喷孔呈阵列式排列。4.如权利要求2所述的涂布机,其特征在于,所述喷孔的直径为0.03mm~1mm。5.如权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述涂覆缝的宽度为0.03mm~2mm。6.如权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述第一阀门与所述喷头壳体固定连接或活动连接;所述第二阀门与所述喷头壳体固定连接或活动连接。7.如权利要求6所述的涂布机,其特征在于,所述喷头壳体包括顶板和连接所述顶板边缘的侧板结构,所述侧板结构和所述顶板围成的空间为长方体,所述侧板结构包括相对的第一侧板和第二侧板,所述第一侧板一端连接所述顶板边缘、另一端连接所述第一阀门,所述第二侧板一端连接所述顶板边缘、另一端连接所述第二阀门。8.如权利要求7所述的涂布机,其特征在于,当所述第一阀门与所述喷头壳体活动连接,所述第二阀门与所述喷头壳体活动连接时;所述涂布机还包括:位于所述第一阀门与第一侧板之间的第一弹性密封结构;位于所述第二阀门与第二侧板之间的第二弹性密封结构;贯穿所述第一阀门、第一弹性密封结构和第一侧板的第一螺栓;设置于所述第一螺栓上的第一螺母;贯穿所述第二阀门、第二弹性密封结构和第二侧板的第二螺栓;设置于所述第二螺栓上的第二螺母。9.如权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述第一阀门包括连接所述喷头壳体的第一阀门板;连接所述第一阀门板的第一阀门栅;所述第二阀门包括连接所述喷头壳体的第二阀门板,所述第二阀门板和第一阀门板呈轴对称分布;连接所述第二阀门板的第二阀门栅,所述第一阀门栅与所述第二阀门栅相对的面相互平行,且所述第一阀门栅朝向所述第二阀门栅的面平行于第二阀门板和第一阀门板的对称轴。10.如权利要求9所述的涂布机,其特征在于,所述第一阀门和第二阀门朝背离所述气压腔的方向凸出;所述第一阀门围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间具有锐角夹角;所述第二阀门围成气压腔的面与所述喷孔延伸方向之间具有锐角夹角。11.如权利要求10所述的涂布机...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵晗
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司中芯国际集成电路制造北京有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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