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基板载置台及其电浆处理装置以及电浆处理方法制造方法及图纸
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文档序号:22334478
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本发明提供一种基板载置台(15),其可减轻腔室(11)内的温度等的外部因素影响。配置于电浆处理装置(1)中的腔室(11)内的基板载置台(15),具备静电夹头(61)与冷却套管(62),静电夹头(61)由上侧圆盘部(61a)与下侧圆盘部(61...
该专利属于SPP科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SPP科技股份有限公司授权不得商用。
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