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本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种紫外激光的微加工装置，所述紫外激光的微加工装置包括紫外激光器、至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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