【技术实现步骤摘要】
一种紫外激光的微加工装置
本技术涉及激光加工领域，具体涉及一种紫外激光的微加工装置。
技术介绍
近几年来，随着电子产品、电子元件的微型化，微加工的需求日益增加，微加工为以微小切除量获得很高精度的尺寸和形状的加工，一般采用激光加工。激光加工是激光系统最常用的应用，根据激光束与材料相互作用的机理，大体可将激光加工分为激光热加工和光化学反应加工两类。激光热加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程，包括激光焊接、激光雕刻切割、表面改性、激光镭射打标、激光钻孔和微加工等；光化学反应加工是指激光束照射到物体，借助高密度激光高能光子引发或控制光化学反应的加工过程。包括光化学沉积、立体光刻、激光雕刻刻蚀等。当激光应用于微加工时，一般采用紫外激光加工，紫外激光加工聚焦光斑小、热影响小、效率高，特别适合微加工，但对于一些熔点低、体积小、加工要求精细的产品，需采用特殊的紫外加工装置才能实现，因此，设计一种特殊的用于精细产品加工的紫外加工装置一直是本领域主要研究的技术问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种小功率的用于微型产品的微细激光...
【技术保护点】
1.一种紫外激光的微加工装置，所述微加工装置包括紫外激光器，其特征在于：所述微加工装置还包括至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出。
【技术特征摘要】
1.一种紫外激光的微加工装置，所述微加工装置包括紫外激光器，其特征在于：所述微加工装置还包括至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出。2.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述聚焦组件包括振镜机构和一聚焦镜头。3.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述微加工装置还包括一用于改变光路径并进行光传输的光学镜片，其中，紫外激光器产生激光，光学镜片改变激光的传播路径后将激光传输至衰减镜片，再通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚...
【专利技术属性】
技术研发人员：代雨成，黄海庆，刘亮，杨柯，曹洪涛，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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