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本发明涉及异物检查装置以及异物检查方法。减低异物的检测遗漏的可能。主面的法线方向相对于电磁波产生源放出的电磁波的强度最高的方向倾斜。...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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