下载一种用于CSP结晶器铜板电镀的电镀装置和电镀方法的技术资料

文档序号:22305529

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本发明提供了一种用于CSP结晶器铜板电镀的电镀装置和电镀方法,涉及电镀技术。一种用于CSP结晶器铜板电镀的电镀装置,包括电镀容腔,所述电镀容腔包括围挡部和电镀平台,其中:所述围挡部的内表面为电镀容腔的侧表面,所述CSP结晶器铜板待镀面为围挡...
该专利属于安徽马钢表面技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽马钢表面技术股份有限公司授权不得商用。

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