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本发明提供一种功率器件的生产工艺方法，包括：检测来料；合格来料通过表面组装和研磨技术制作基层衬底结构；在基层衬底结构上依次铺并形成氧化层；在所述氧化层上生成氮化硅层，以形成目标衬底结构，并铺设光刻层；通过物理CMP和电浆干式蚀刻技术在光刻层...
该专利属于上海遂泰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海遂泰科技有限公司授权不得商用。

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