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本发明提供了一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪，其包括驱动质量块、传动部件、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述传动部件分别通过具有弹性的结构与所述驱动质量块和所述科...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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