下载渐变叠层TCO导电膜的异质结电池结构及其制备方法的技术资料

文档序号:22264745

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本发明涉及的一种渐变叠层TCO导电膜的异质结电池结构及其制备方法,它包括硅衬底,所述硅衬底的双面均设有非晶硅本征层,所述非晶硅本征层的外侧设有非晶硅掺杂层;所述硅衬底受光面的非晶硅掺杂层的外侧设有叠层TCO导电膜,所述硅衬底非受光面的非晶硅...
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