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一种基于线切割的半导体硅棒截断设备制造技术
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文档序号:22249675
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本发明公开的一种基于线切割的半导体硅棒截断设备,包括机座,所述机座内设有开口朝上的传送腔,所述传送腔内设有送料装置,所述送料装置上可设有不少于两个的夹具,所述机座上设有位于送料装置左侧的进给装置,所述进给装置内设有线切割装置,所述机座上设有...
该专利属于陈惠丽所有,仅供学习研究参考,未经过陈惠丽授权不得商用。
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