下载霍尔测量结构的技术资料

文档序号:22248145

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本实用新型提供一种霍尔测量结构,包括衬底、设置于衬底上的半导体层、及设置于半导体层上的片电阻感应部、磁场感应部。半导体层具有图案,图案包括电感区、4个焊垫对应区、X字型区、及欧姆接触道,电感区位于X字型区的中心,焊垫对应区两两以电感区为中心...
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