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一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的纯化装置及其工艺制造方法及图纸
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下载一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的纯化装置及其工艺的技术资料
文档序号:22247728
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本发明属于气体纯化领域,公开了一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的装置及其纯化工艺。该装置包括原料气入口阀门仪表组,辅助气体入口阀门仪表组,换热器,加热器,高温吸附器A,冷却器,高温吸附器B,主气路流通阀,临时气路流通阀,产品气出口阀门...
该专利属于大连中鼎化学有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连中鼎化学有限公司授权不得商用。
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