下载一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的纯化装置及其工艺的技术资料

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本发明属于气体纯化领域,公开了一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的装置及其纯化工艺。该装置包括原料气入口阀门仪表组,辅助气体入口阀门仪表组,换热器,加热器,高温吸附器A,冷却器,高温吸附器B,主气路流通阀,临时气路流通阀,产品气出口阀门...
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