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本发明提供一种精确监控并改善方块电阻量测稳定性的方法，包括：将晶圆置于RS机台的量测卡盘上；在晶圆表面上取四点并量测其JPV信号；提供JPV信号与晶圆表面量测位置曲线关系，将得到的四点的JPV信号代入曲线关系，得出该四点对应的坐标值；利用得...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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