下载一种电子封装用的压力自控装置的技术资料

文档序号:22222762

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本发明涉及集成电路设备技术领域,且公开了一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置,传送装置的顶端放置有基板,基板的顶部设有芯片,且芯片的顶端设有负压吸盘,负压吸盘的内部连通有气路接头,且气路接头的顶端通过固定连杆与自控装置的内部固定连接,...
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