下载一种直拉单晶液位保护系统及其控制方法的技术资料

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本发明提供一种直拉单晶液位保护系统,包括以下步骤:S1:根据导流筒下沿与坩埚内硅溶液的液面之间的距离,计算坩埚的理论位置;S2:监控坩埚的实际距离,并将坩埚的实际距离与坩埚的理论距离作对比,进行埚升控制。本发明的有益效果是使得直拉单晶液位保...
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