下载含银薄膜的蚀刻液组合物及利用其的显示装置用阵列基板的制造方法的技术资料

文档序号:22212563

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本发明涉及含银薄膜的蚀刻液组合物及利用其的显示装置用阵列基板的制造方法,相对于蚀刻液组合物的总重量,所述蚀刻液组合物包含:30至60重量%的磷酸;1至9重量%的硝酸;0.1至10重量%的硝酸铁;0.1至10重量%的不包括醋酸的羧酸类有机酸;...
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