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本实用新型涉及真空度测量技术领域，尤其涉及一种CVD反应腔室真空度测量装置。该CVD反应腔室真空度测量装置包括反应腔室、真空测量机构、移动机构、传动机构以及驱动机构，所述驱动机构通过所述传动机构与所述移动机构的一端相连，所述移动机构的另一端...
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