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本发明提供一种速率监控装置、蒸镀设备及蒸镀方法。本发明的速率监控装置，包括挡板组件、膜厚检测组件和多个晶振片，挡板组件包括本体、开设于本体上的第一开口和第二开口，以及设置于本体上的用于封闭和暴露所述第二开口的第一挡板，所述本体遮挡所述多个晶...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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